真空镀膜机镀工件出现白雾的原因

2021/10/14

真空镀膜机镀玻璃工件，工件内部出现膜内白雾，是什么原因造成的。对于一个专业的真空镀膜技术工程师来说，白雾形成在膜内，他们是能快速采用排除方面，寻找到原因的，因此，专业能力技术强，还是非常有优势的。那么膜内白雾到底有哪些原因形成的呢？

      1、基片脏，附着前工程的残留物；
      2、镜片表面腐蚀污染；
      3、膜料与膜料之间、膜料与基片之间的不匹配；
      4、氧化物充氧不够；
      5、第一层氧化锆膜料，可能对某些基片产生白晕现象；
      6、基片进罩前（洗净后）受潮气污染；
      7、洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹；
      8、真空室脏、水气过重；

      9、环境湿度大。

真空镀膜机镀工件玻璃出现膜内白雾，改善思路：基片本身的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本身最大的可能是膜料匹配问题。
      改善对策：
      1、改进膜系，第一层不用氧化锆；
      2、尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备工作；
      3、真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤一下，更换的护板等真空室部件必须干燥、干净；
      4、改善环境；
      5、妥善保护进罩前在伞片上的镜片，免受污染；
      6、改善洗净、擦拭效果；
      7、改善膜匹配（考虑第一层用Al₂O₃）；
      8、改善膜充氧和蒸发速率（降低）；
      9、加快前工程的流程，前工程对已加工光面的保护加强；
      10、抛光加工完成的光面，必须立即清洁干净，不能有抛光粉或其他杂质附着干结。