真空蒸镀与溅射镀膜优缺点是什么？

2022/03/02

溅射比蒸镀和工作真空低一个数量级,所以膜层的含气量要比蒸镀高。

蒸镀不适用于高溶点材料,如钼,钨。因为溶点高,蒸发太慢,而溅射的速度比蒸镀快很多。

溅射不适用于低硬度材料,如非金属材料。

溅射不适用于非导电材料。

蒸镀不能控制厚度,而溅射可以用时间控制厚度。

蒸镀不适应大规模的生产。

蒸镀的电子动能比溅射小很多,虽然含气量少,但是膜层易脱落。

溅射的膜均匀,蒸镀的膜中心点厚,四周薄。

在国内蒸镀工艺比溅射工艺成熟。