真空镀膜会遇到掉膜的原因

2021/11/15

真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。

　　真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为更具 发展前途的重要技术之一，并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。

　　它主要是在高真空度下进行的镀膜，使用行业也是非常多的，汽车，医疗，交通，机械，服务等等行业，也现在于人们生活非常紧密的镀膜设备。

　　真空镀膜设备是镀膜工业上的一个重要部分，若没先进高效的镀膜机器，就没有现代化的镀膜工业。

　　真空镀膜会遇到掉膜的情况，产生这样情况的原因在于哪里，如何去解决这些问题呢?

　　1、表面清洁度

　　产品表面洁净度不够，可以考虑离子源清洗时氩气放大、时间长点。

　　2、清洗过程中的问题

　　镀前清洗不到位，或更换了清洗液。

　　3、工艺的问题

　　工艺参数是否有变动，在镀膜时间和电流上做适当调整。

　　4、靶材的问题

　　钛靶是否中毒，检查和更换。

　　5、真空腔是否漏气

　　进行次捡漏。

　　6、产品表面氧化

　　氧化的原因很多，可以自行判断处理。