超高真空镀膜机表面处理的重要性

2021/11/02

超高真空镀膜机的清洗处理是非常重要的，镀膜机的清洗处理是否到位，将直接影响到极限真空环境的获得。使用良好的清洁处理工艺比之一般的清洗处理工艺，其设备材料的出气率要低了几个数量级。

比如说不锈钢材料的真空设备，它长期不断在大气中暴露，不进行任何清洗、去油处理、烘烤处理的话，其在抽气一小时后约为2x10[Pa·m/（s·m）］的出气率；若做了去油处理，不做烘烤处理，其在抽气四小时后可到1 x 10[Pa·m（s· m）］的出气率；如果去油后，再做清洗，又在250C的温度之下烘烤十五个小时的话，即可降到1 X 10[Pa·m/（s·m）］的出气率，可以发现，其出气率下降了近五个数量级之多。

通常需要做烘烤处理，对超高真空环境的获得来说，真空烘烤是不可缺少的工艺。一套合格的真空设备的设计，若少了烘烤措施，也没有其它相关措施的处理的话，那么不管配置任何类型的真空泵（如扩散泵、低温泵、溅射离子泵、涡轮分子泵等）做抽气处理，最终获得的工作压力也就大概在10Pa-10Pa这个数量级之间，顶多可达极限真空10Pa的量级，想要再高的真空度那就是天方夜谭。

针对于不锈钢，加速出气的方法有两种是最有效的：

1、在400C温度下的空气中烘烤；

2、在800C-950C下的真空环境烘烤。

　　烘烤处理工艺需要在2700Pa压力下的纯氧环境中进行，才能减少烘烤过程中存在水蒸气影响到材料表面的可能，此外，还需明确真空烘烤应在10Pa下进行，才能让材料中的氢浓度降低到我们需要得到的最低限度。